证券之星消息，根据企查查数据显示龙腾光电(688055)新获得一项发明专利授权凯时国际游戏，专利名为“曝光系统及曝光方法”，专利申请号为CN2.4慢波结构，授权日为2024年6月11日。 专利摘要：一种曝光系统，包括光源组件凯时国际游戏、半透镜、全反射镜、弧形镜组、掩膜板和透镜组，光源组件发出的光依次经过半透镜、弧形镜组、掩膜板、透镜组后进行第一次曝光，全反射镜与半透镜相对设置凯时国际游戏，半透镜可将光反射至全反射镜，全反射镜反射的光实现第二次曝光。本发明的曝光系统能提高图像线宽关键尺寸的均一性，提升了产品良率。本发明还涉及一种曝光方法。 今年以来龙腾光电新获得专利授权102个，较去年同期增加了2%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了2.2亿元，同比增14.47%。 由证券之星根据公开信息整理，由算法生成(网信算备240019号)，与本站立场无关，如数据存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。 证券之星消息，根据企查查数据显示龙腾光电(688055)新获得一项发明专利授权，专利名为“曝光系统及曝光方法”，专利申请号为CN2.4，授权日为2024年6月11日。 专利摘要：一种曝光系统，包括光源组件、半透镜、全反射镜、弧形镜组、掩膜板和透镜组，光源组件发出的光依次经过半透镜、弧形镜组、掩膜板、透镜组后进行第一次曝光，全反射镜与半透镜相对设置，半透镜可将光反射至全反射镜，全反射镜反射的光实现第二次曝光计数器描迹仪。本发明的曝光系统能提高图像线宽关键尺寸的均一性，提升了产品良率凯时国际游戏。本发明还涉及一种曝光方法。 今年以来龙腾光电新获得专利授权102个掩膜板，较去年同期增加了2%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了2.2亿元，同比增14.47%。 由证券之星根据公开信息整理，由算法生成(网信算备240019号)凯时国际游戏，与本站立场无关匹配，如数据存在问题请联系我们。本文为数据整理，不对您构成任何投资建议，投资有风险，请谨慎决策。 |